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超稳定紧凑型光学差分激光干涉仪

超稳定紧凑型光学差分激光干涉仪专为必须长时间执行高度稳定的长度测量的应用而设计。紧凑的传感器设计即使在狭窄的空间内也能实现长期稳定的调整和放置,因此精密测量系统非常适合用作闭环控制回路的激光尺。

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